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国产18寸导体级单晶硅棒研制成功 用于28nm制程?


时间: 2023-11-26 11:52:07

作者: 半岛官网入口网页版

  近来,在Semicon China2020上,新美光(姑苏)半导体科技有限公司发布了450mm(18寸)11个9纯度的半导体级单晶硅棒。据新美光CEO夏秋良介绍,450mm半导体单晶硅棒选用世界最先进MCZ技能,代表世界领先水平,改动国内无自主450mm半导体级单晶硅棒的局势。将在28nm以下晶圆厂完成国产代替。

  2019年12月,新美光完成了数千万元pre-A轮融资,由陕投生长基金领投,2020年6月份,又敏捷的完成了新的一轮融资,由安丰创投领投。现在在建2万平米厂房,估计2021年4月封顶,2021年年末产线投产。

  扩展阅览:晶圆是制作半导体芯片的根本资料,制作晶圆需求将单晶硅棒进行切段,滚磨,切片,倒角,抛光,激光刻,包装而成。

  而单晶硅棒的制作则需求纯度为99.9999%的电子等级硅在1400 ℃高温中溶解,然后在溶液中种入籽晶。随后渐渐拉出构成圆柱形单晶硅棒。

  电子等级硅的提纯则需求把砂石放在2000℃的高温中与碳源产生反响。生成纯度为98%的硅(冶金级硅),随后把破坏的冶金级硅与气态的氯化氢进行氯化反响,生成液态的硅烷。经过蒸馏和化学复原工艺,得到了纯度为99.99999%的多晶硅。

  此次新美光(姑苏)半导体科技有限公司自主出产的450mm的半导体级单晶硅棒,在当下有十分重要的战略意义。

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